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  1. 2020

    8-6

    質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個(gè)氣體流量調(diào)節(jié)閥門(mén),閥門(mén)能使通過(guò)控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測(cè)量的滿(mǎn)量程,在工作的過(guò)程當(dāng)中,控制器的入口和出口之間會(huì)產(chǎn)生一個(gè)氣壓降,即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa,若壓...

  2. 2020

    6-17

    大流量氣體質(zhì)量流量控制器(MassFlowController縮寫(xiě)為MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流進(jìn)行精密測(cè)量和控制。它們?cè)诎雽?dǎo)體集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作...

  3. 2020

    6-15

    通過(guò)使用3臺(tái)GT210D電子壓力控制器(EPC)控制VOC監(jiān)測(cè)設(shè)備中的氣路。其中2臺(tái)EPC用于FID檢測(cè)器氫氣和空氣流量控制,另外1臺(tái)EPC用于填充柱載氣流量控制。應(yīng)用方案(以下為建議應(yīng)用,用戶(hù)可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整):...

  4. 2020

    6-15

    通過(guò)使用4臺(tái)GT210D電子壓力控制器(EPC)控制VOC監(jiān)測(cè)設(shè)備中的氣路。其中2臺(tái)EPC用于FID檢測(cè)器氫氣和空氣流量控制,另外2臺(tái)EPC用于填充柱載氣流量控制。應(yīng)用方案(以下為建議應(yīng)用,用戶(hù)可根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)整):...

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